PECVD管式爐采用二個(gè)半圓型發(fā)熱爐膽合二為一，可自由開(kāi)啟，
較大便利各種實(shí)驗(yàn)操作，本開(kāi)啟式電爐采用陶瓷纖維內(nèi)膽，節(jié)能高效，能耗僅是普通管式電爐的三分之一，高溫電阻絲發(fā)熱，空氣散熱，金屬外殼，具有節(jié)能及可編程序強(qiáng)大功能，準(zhǔn)確度可高達(dá)±1℃，其精度可與同類(lèi)產(chǎn)品媲美。
PECVD管式爐的溫度控制系統(tǒng)：
溫度測(cè)量：K分度鎳鉻--鎳硅熱電偶；
控制系統(tǒng)：LTDE全自動(dòng)可編程儀表，PID調(diào)節(jié)，顯示精度1℃；
成套電器：采用接觸器，散熱風(fēng)扇，固態(tài)繼電器；
時(shí)間制：可設(shè)定升溫時(shí)間，恒溫時(shí)間控制，恒溫時(shí)間到達(dá)，自動(dòng)停機(jī)；
超溫保護(hù)：內(nèi)置式二級(jí)超溫保護(hù)裝置，雙重保險(xiǎn)。
運(yùn)行方式：全量程可調(diào)節(jié)恒溫，恒定運(yùn)行；程序運(yùn)行。
PECVD管式爐爐體構(gòu)架：爐體構(gòu)架由箱體和支架構(gòu)成，均采用優(yōu)質(zhì)型鋼和鋼板致焊接制作，外表精致美觀。
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和電40段程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫。管兩端用不銹鋼法蘭密封，用流量計(jì)控制進(jìn)氣流量、該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)具有安全可靠、操作簡(jiǎn)單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區(qū)多、可選配氣氛、抽真空爐型等。
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